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华国最开始研究光刻机,是在七十年代就已经开始了,最初是让南金大学的1445研究所进行研究。
七十年代的时候,华国就已经意识到了光刻机的重要性,并且快速开始研究光刻机,1982年科学院109厂的KHA-75-1光刻机,这些光刻机在当时的水平均不低,最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年。
1985年,机电部45所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到米国4800DSW的水平,这应当是华国第一台分步投影式光刻机,采用的是436纳米G线光源。按照这个时间节点算,华国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。
从历史上回顾,华国的半导体产业发展其实非常不错,五十年代就已经把头给开好了,接下来,只需要按部就班,慢慢发展,未来半导体和电子产业华国肯定也是龙头之一。
那个时候的华国,半导体产业仅次于米国。
老一辈的科研人员奉献了自己的青春,造就了华国的半导体产业。那时候华国的半导体产业虽然没有超越当时世界最先水平,但是差距并不大。更重要的是,打造了从单晶制备、设备制造、集成电路制造的全产业链,基本不依赖国外进口,也就是说,华国以一国的供应链去追赶整个西方发达国家联盟的供应链。要知道,当时英特尔也是用的霓虹的光刻机。
然而,为什么华国的光刻机技术没有发展起来?
现在,华国使用的光刻机是193nm的氟化氩激光光刻技术,而这个时候远在大洋彼岸的荷兰,已经开发出了euv光刻技术,采用的是13nm的极紫外光技术。
这种技术,华国最起码和对方差了二十年。
这二十年,我们在干嘛?
不是国家不发展,而是没办法。
仔细看看华国的发展,从一开始的百废待兴,到现在为止,几乎让百分之九十的人吃得饱穿得暖,靠的就是国家大力发展经济的原因。
那个时候,我们国家弱小到任何人都敢来欺负,好钢用在刀刃上,华国没办法,只能把所有的经济用来研发武器,因为两弹一星,让我们国家再也不敢随意的被人骑在脑袋上。
可一眼望去,全国人民举目皆穷。
这是一个很现实的问题,当大多数人吃不上饭的时候,又何谈研发什么光刻机呢,研发出来又有什么用呢?
当时,华国面临两个选择,要么牺牲国民水平,投入资金搞基础科研。要么牺牲这个行业,专注提升国民的生活质量。
到现在为止,我们习以为常的衣食住行背后,是科研人员几代人的努力。
我们成功的让我们国家的人民开始能吃上饭,开始富足起来了,人们的文化水平也在提高的现状下,终于,我们把目光再次对准了所谓的光刻机上。
光刻机,通俗点说,就是生产芯片最重要的仪器。
芯片有多重要,就不用多说了。
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