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光刻胶是混合物,由树脂、溶剂、感光剂、添加剂等等混合而成的一种液体材料,这种材料对光非常敏感。
其中树脂起到了粘合的作用,把不同的材料粘合在一起,使得光刻胶具备了一定的机械性能和化学性质。
感光剂就是光活性非常强的化合物,对光非常敏感,在受到光照的时候能发生化学反应。
在光刻胶中,树脂和感光剂在其中的比例几乎是一样的。
溶剂的作用就是使得光刻胶具备了流动性。
至于添加剂使得光刻胶具备了特殊化学性质。
光刻胶应用广泛,在半导体、微机电系统、太阳能光伏等等都具有广泛的应用!
而且光刻胶的种类繁多,如果按照应用不同可以分为半导体光刻胶、PCB光刻胶、面板光刻胶等等。
要是按照曝光的波长来分呢,又可以分为紫外光刻胶,它的波长在300纳米——450纳米之间,还有深紫外光刻胶,它的波长在160纳米——280纳米之间,后边还有极紫外光刻胶,波长是13.5纳米……
后边还有电子束光刻胶、离子束光刻胶、X射线光刻胶等等。
不过总的来说,可以分为正光刻胶和负光刻胶。
正光刻胶就是原本是不可溶的液体在经过光照之后变成可溶的了。
负光刻胶正好相反,一开始是可溶的液体,在经过光照之后变成了不可溶的了。
对于光刻胶的知识在经过小芳的讲解之后,王昊天已经了然于胸了,他来到了一号车间,在那里有着一个小试管瓶。
王小芳随手丢给了王昊天:“这就是我们最新研制出来的光刻胶,效果不比倭寇国的ArF光刻胶差,就算用到5nm的都没有任何问题啦。”
在这一点上,王小芳非常的有自信。
其实材料就是不断的调试以及实验,调整配方,得到性能优良的材料,得到自己最想要的,在这一点上小芳有着丰富的知识。
“我们现在研制出来的是正光刻胶,它的性能可以说是非常优良,光学性能非常好,光线照射到之后四周弥散的非常少,吸收率极大,至于光化学性能,那是感度高,很难被周围的气氛等一些外在因素影响。”
王小芳继续说道:“线路图成型的效果非常好,就算光刻胶膜较厚的情况下,分辨率也可以维持在很好的一个水平,图形边缘陡直,没有出现边缘锯齿的现象。”
“就算是膜薄的情况下也没有出现过针孔等缺陷,对于各种腐蚀剂的抗性很强,而且在经过药物处理之后不容易变质,祛除起来比较容易,不会在硅圆片上留下杂质。”
……
听着王小芳给自己介绍着光刻胶,王昊天如饥似渴地接受着这些知识:“很好,小芳你果然没有让我失望,我们要想摆脱对别人的依赖就要自强!”
“我们不仅仅要生产高等级的光刻胶,就连低等级的光刻胶我们也要生产,我相信你能办到的。”王昊天说道。
“那是当然了,小菜一碟!”王小芳挺了挺自己的胸膛说道,对于她来说生产光刻胶简直是不要太简单了。
“生产流水线我两周之内就可以搭建起来,不过生产一些样品现在还是可以的,稍等一下我生产一些高端、中端和低端的光刻胶,你可以先宣传一下,让别人知道我们的产品是什么。”
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