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虽然光刻机已经研发成功了,可一想起过程,黎广澜依旧激情满满:“这是我们集团第一款,也目前咱们国家当时第一款具有完全知识产权的光刻机,从光源、到镜头,再到工件台、测量装备,无不凝聚着技术人员的汗水……”
一谈起光刻机的研发过程,黎广澜的话匣子就关不上了,看得负责拜访的记者,都有点动容了:这老爷子,太有活力了!
当然,拜访也会有重点。
出门的时候,电视台的领导已经圈定了问题的范围,比如193纳米光刻机的后续产品,再比如,黎广澜在发布会上放出来的一纳米的大卫星……
“黎院士,我记得您在星瀚集团新品发布会上,提到了一个问题,集团公司正在进行1纳米光刻机的研发?”
“对!”黎广澜神情凝重地点了点头,“我们在研发更高级,像是65纳米、45纳米,乃至二十三纳米光刻机的时候,发现精度到了一定程度之后,就很难再有提升,零件的精度,镜片的加工,都会影响产品的精度……”
“因此,我们的技术人员另辟蹊径,想出了NIL光刻工艺,相比于dUV工艺,NIL光刻工艺无疑更具有操作性,使用电子束雕刻掩膜版……”
虽然世界上大多数的光刻机研发人员,都知道紫外线光刻机的“进阶”过程:不断缩减光源的波长,这样的光源,经过镜头系统的折射之后,就能在微米乃至纳米尺度加工芯片。
虽然不断缩减光刻机光源的理论很简单,只需要沿着可见光谱,不断地试验就可以了。
可很多时候,知道目的地在哪里,但却不知道离目的地还有多远的人,往往是最绝望的。
而周岩让星瀚集团的这些大佬们放出的NIL光刻机这颗“烟雾弹”,无疑是在别人即将迷路的时候,用手电筒照了一下不远处的某个目的地的标识牌……
不得不说,周岩实在是太损了。
有NIL光刻机这颗珠玉在侧,还在孕育中的EUV极紫外光刻机,能不能出世,还是个未知数。
更关键的是,NIL光刻机这颗烟雾弹释放出来之后,漂亮国构建的以ASmL为核心的光刻机垄断集团,很快就会支离破碎。
已经尝到了封锁滋味的“大炮”和“尼看”,应该很快就会“找到正确的道路”,沿着历史的大道狂飙……
更要命的是,与复杂的EUV极紫外光刻机相比,NIL光刻机是真香。
不过,为了防止自己人被忽悠瘸了,五月二号,周岩领着秦若舒跑到了光刻机分公司。
“虽然NIL光刻机容易实现高精度加工制程,可咱们的重点,依旧是已经立项的EUV极紫外光刻机。”
“周董,难道就不能齐头并进?”
周岩瞥了一眼搞事儿的光刻机分公司cEo沈正:“你是不是想说,忽悠人,还得有个引导?咱们自己做出来,其他人才会相信?”
沈正嘿嘿一笑,点了点头。
“过一阵子,我会把一纳米制程的NIL光刻机资料放到公司内网上,你们试着做一些出来……”
周岩一个“炸弹”,把在场的所有人都给炸蒙了:这也可以?
“还有,马上生产一台45纳米制程的光刻机,我要拿来跟人交换……”
沈正的眼睛一下子亮了起来:“能换来什么东西?”
“我建议了中航,他们会派一些八级技术工种,来咱们公司做技术交流……”
会议室里一下子开了锅……
虽然星瀚集团能制造光刻机,可在坐的都清楚,集团不具备独立生产光刻机的能力,很多的部件都是委托生产的:光源是委托中科院高能物理研究所加工的;镜头是委托中科院天文所加工的;工件台是首都精工加工出来的……
虽然最后的装配是在星瀚集团的无尘车间进行的,可负责装配的八级钳工,却是从别的地方借来的……
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